一．总体要求：1、测量机总体结构为桥式结构；2、三向均采用精密气浮式导轨；3、工作台采用优质花岗岩，移动桥采用最新特殊铝合金结构；4、整机具有良好的结构强度、稳定性和可靠性。二、主要技术参数：（一）机械本体部分：1、测量范围：X≥430mm、Y≥480mm、Z≥380mm；2、空间测量精度（参照ISO10360-2标准；μm）：E=4+4L/1000，其中L单位为mm；3、分辨率：0.5μm；4、运动速度：≥340m/s；5、加速度：≥1730mm/s2。（二）计算机系统部分：1、CPU：Intel Pe
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