最近测量一个光学零件，精度比较高，导入CAD模型，我使用的是栅格扫描，框选，选择“查找理论值”，然后输入测量点数，隔4mm左右测量一个点，扫描完后后，导出“点云”，通过第三方软件来评价其面形，评价结果和波面干涉仪测量的结果相差很大，相差20多微米，这个结果肯定有问题。后来为了验证，我们把零件拿到蔡司的机器上测量，它所得的结果和干涉仪测量的结果吻合。
在不同的机器上测量，不同的就是，在PCDMIS CAD++上测量用了“测头半径补偿”，而在蔡司的机器上是没有进行补偿测量的。
请问：为什么会出现这样的结果？测量曲面时，什么时候用“测头半径补偿”？
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