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2008-04-16 08:30 34 0 2
这两天刚做过维护,校准了空间角度,现在用环规测时尺寸偏大3微米,形状误差2微米左右,校块规小3微米(100MM),不知道为什么.工程师说我们的温度控制的不好,现在只调了垂直度,单轴精度要等温度稳定一段时间在做,而且我用00级的角尺查X轴直线度,300MM有3微米
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